FEMTO　真空プラズマエッチング装置

 

真空プラズマエッチング装置　VITAシリーズ

 

 

 

 

 

 

 

 

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。

コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

 

 

 

 

 

※オプション　ＭＦＣ追加・ドライポンプ・ＲＦ600Ｗ～ジェネレータ他

アプリケーション例

MEMS
SiO2 Etching

 

 

 

 

 

Line & space

 

 

 

 

SEMICONDUCTOR

Nitride Etching

 

 

 

 

Oxide Etching

 

 

 

 

Before ⇒ After
SiO2 Ashing