LF真空プラズマクリーナー CIONEシリーズ

電極反転機能を標準装備

RIEモードでナノエッチングか可能

ガスフローデザインで均一な処理が可能(*特許取得)

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プラズマピペット『Plasma Pipette』S/Fタイプ

ハンディタイプ且つ、充電式タイプのプラズマ装置になる新しいモデルのラインナップになります。

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LF真空プラズマクリーナー『CUTE・COVANCE』シリーズ

 

表面クリーニングに最適なLF帯の周波数を使用したプラズマクリーナーです。
UVオゾンクリーナーやRFプラズマ装置を使用している方やウエット処理で表面処理をしている方に最適です。

〈用途〉PDMSポンディング・基盤洗浄  SEM/TEM等の前処理

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パラキシリレンコーティング装置 『LAVIDA-110』

凸凹面や狭い所も、常温で圴一なコンフォーマルコーティングができます。

〈用途〉 バイオセンサーの研究・絶縁膜・耐溶剤膜・防水・生体適合膜 等

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真空プラズマエッチング装置 『VITA』シリーズ

VITAシリーズは、研究や試作目的の使用に開発されました。
コンパクトで簡単な操作で使用でき、エッチングやアッシングに最適です。

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